SmartFactory MES FACTORYworks是Applied Materials, Inc旗下的MES系統。SmartFactory MES FACTORYworks是一套完全集成的、穩定的制造執行系統，管理高度自動化的生產運營。 FACTORYworks以其可配置的建模和可擴展性而聞名，在半導體前道、后道、顯示和分立制造方面均得到驗證，擁有長期、成功的跟蹤記錄。其具備高可靠性和穩定性；多平臺支持，降低擁有成本；并在全球的重要應用任務中得到驗證。